发布时间:2023-01-05 来源:合肥日报
记者日前从安徽省球盟会官网入口计算工程研究中心获悉,国内首个专用于球盟会官网入口芯片生产的MLLAS-100激光退火仪(简称“激光退火仪”)已研制成功,可解决球盟会官网入口芯片位数增加时的工艺不稳定因素,像“手术刀”一样精准剔除球盟会官网入口芯片中的“瑕疵”,增强球盟会官网入口芯片在向多比特扩展时的性能,从而进一步提升球盟会官网入口芯片的良品率。
据了解,该激光退火仪由合肥本源球盟会官网入口计算科技有限责任公司完全自主研发,可达到百纳米级超高定位精度,对球盟会官网入口芯片中单个球盟会官网入口比特进行局域激光退火,从而定向控制修饰球盟会官网入口比特的频率参数,解决多比特扩展中比特频率拥挤的问题,助力球盟会官网入口芯片向多位数扩展。
“我们在球盟会官网入口芯片生产过程中,通过球盟会官网入口芯片的‘火眼金睛’无损探针仪发现球盟会官网入口芯片的优劣,对于其中的‘坏品’‘次品’,采用激光退火仪处理存在的问题。就像医生做手术一样,这把‘手术刀’能够‘对症下药’,改善其中‘不良’部分,从而提高球盟会官网入口芯片的品质。”安徽省球盟会官网入口计算工程研究中心副主任贾志龙博士说,之前发布的球盟会官网入口芯片无损探针仪和这台球盟会官网入口芯片激光退火仪都属于球盟会官网入口芯片工业母机,前者发现问题,后者解决问题。它们相互配合,才能生产出更高质量的球盟会官网入口芯片。
据中国科学技术大学教授郭国平介绍,球盟会官网入口计算机是具有重要战略价值的国之重器。代表球盟会官网入口计算机能力水平的一个重要参数是它的球盟会官网入口比特位数,球盟会官网入口比特位数越高,其计算能力越强。
“为了解决更高位数球盟会官网入口计算机中的多比特球盟会官网入口芯片生产问题,我们自主研发了该设备。”贾志龙表示,这台激光退火仪拥有正向和负向两种激光退火方式,可以在生产过程中灵活调节多比特超导球盟会官网入口芯片中球盟会官网入口比特的关键参数。同时,该设备还可用于半导体集成电路芯片、材料表面局域改性处理等领域,目前已在国内第一条球盟会官网入口芯片生产线上投入使用。